电子暨半导体部门
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蒸发台
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蒸发台（Evaporator System）
1．适用于LED业界量产型设备（111Pcs-195Pcs ）。
达到精准的膜厚均匀性控制（3%以内）。
最佳化蒸镀腔及排气系统设计，可有效降低Cycle time，并提升材料利用率（提高20%）。
针对于LED wafer 所特殊设计的夹治具，可靠度极佳，可由客户自行选择放置方式（内置式 或 外置式）。
