| IC量测与测试 |
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表面轮廓仪
Profiler |
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扫描电子显微镜 SEM |
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普通（钨灯丝，场发射） |
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聚焦离子束电镜 |
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3D-SEM |
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分析性探针台Analytic
Probe Station |
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全光谱反射式膜厚测量仪Spectroscopic
Reflectometer |
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椭偏仪Ellipsometer |
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单波长 |
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全波长 |
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原子力显微镜AFM |
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干涉仪
Non-contact Nano-profiler |
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四点探针台
Four point prober |
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接触角测量仪 Contact
Angle |
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接触角，表面张力分析仪 |
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离子注入剂量检测机 |
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紫外线功率计 |
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光刻曝光分析仪器 |
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LED芯片探针台 |
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LED芯片分选机 |
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LED芯片外观不良晶粒检选机 |
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芯片厚度测试仪 |
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热阻测试系统 |
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Loranger
IC测试座 |
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电射切割机 |
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