电子暨半导体部门
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表面轮廓仪(台阶仪)
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表面轮廓仪(台阶仪)
High Resolution Surface Profilometer价格低,体积小巧,性能卓越。
可用于测量轮廓、台阶高度、膜厚、薄膜应力,用于控制各种薄膜的生长工艺。
台阶仪带有极低接触力选件、大尺寸200mm真空吸样台、大范围150mmx150mm自动二维自动台阶、光学变焦系统、薄膜应力测试软件等。
放上样品后所有操作由鼠标点击软件界面实现,无需手的动作或操作按钮。