全自动晶圆分选机用于对晶圆进行缺陷检查并进行分别处理。

1.进料单元可以兼容foup，fosb，open cassette。

2.有多种传输模式可以设定，AtoB，AtoC,BtoC，A,BtoC等等。

3.有独立的宏观微观检测单元，可以针对晶圆的表面情况进行检测和分析，实现实时对晶圆的情况进行记录和处理。