自动BG胶带贴合机适用于8英寸和12英寸系统,可将各种BG胶带贴合到晶圆活动表面,为了在接下来的回磨过程中以保护晶圆。
1.机械手是自制的陶瓷机械手,并由防静电涂层防止摩擦产生静电导致产品击穿。
2.膜的自动装填系统,可以在5分钟内快速补充和更换。
3.具备自动膜压控制系统,可以针对不同的产品表面提供最优的贴装方案。
4.6轴机械手的加入,可以让切膜角度自由改变,已达到最优的切割效果,且加入了压力感知系统,防止在技术人员参数选错而导致切刀损伤产品;除此外还搭载了自动换刀和自动清洁刀头的模块功能,工程师只需定时更换模块即可,方便快捷。