PVD镀膜设备可兼容Metal Evaporator System, E-Beam Evaporator System,R-H (Thermal) Evaporator System,ITO (Oxide) Evaporator System,Optical Evaporator System,E/B+ R/H Dual Source Evaporator System,E/B+ R/H Dual Source Evaporator System,Dual E-Beam Source Evaporator System,OLED Evaporator System等功能。

1.内部轨道做了硬铬处理，可防止旋转时产生铁屑

2.机器的pump再生和加热可以有预约功能。

3.机器的所有监控数据在设备控制界面都有显示。

4.可以实现lift-off工艺对于低温沉积的工艺要求。