全自动贴膜&揭膜设备,可用于晶圆表面胶膜的移除并同时完成将晶圆与frame固定在同一张胶膜上的功能。
1.可支持FOUP CASSETTE,COIN STACK, DSC CASSETTE的装载。
2.具有预切割功能可以减少耗材的损耗。
3.可一键式完成8~12寸的规格转换,效率在10分中以内。
4.贴膜压力自动监测和调节功能。
5.拥有标签贴装功能,可以直接根据ERP系统数据生成条码。
6.可以支持研磨机的inline模式。